サーモリフレクタンス法とは サーモリフレクタンス法（Thermoreflectance technique）は、金属表面の反射率の温度依存性を利用して温度変化を測定し、 そこから熱物性（特に熱拡散率・熱浸透率）を評価する非接触・高時間分解能の測定手法です。 主に薄膜材料や半導体デ
薄膜評価
用語解説：非定常法（Transient method）
非定常法｜一時的な温度変化を利用した熱伝導率評価の基礎と応用 非定常法は短時間で熱伝導率を評価できる手法です。代表的な方式、解析上の留意点、定常法との比較を整理しました。 1. 非定常法とは 非定常法（Transient Method）は
薄膜及び界面の熱伝導率測定方法について
薄膜・微小領域の熱伝導率測定 — ベテル製サーマルマイクロスコープで見る局所熱特性 概要 半導体の微細化やパワーエレクトロニクスの高出力化に伴い、薄膜や微小領域の局所的な熱特性はデバイス信頼性に直結する重要指標です
