サーモリフレクタンス法とは サーモリフレクタンス法（Thermoreflectance technique）は、金属表面の反射率の温度依存性を利用して温度変化を測定し、 そこから熱物性（特に熱拡散率・熱浸透率）を評価する非接触・高時間分解能の測定手法です。 主に薄膜材料や半導体デ
サーモリフレクタンス法
薄膜及び界面の熱伝導率測定方法について
薄膜・微小領域の熱伝導率測定 — ベテル製サーマルマイクロスコープで見る局所熱特性 概要 半導体の微細化やパワーエレクトロニクスの高出力化に伴い、薄膜や微小領域の局所的な熱特性はデバイス信頼性に直結する重要指標です
