2010年11月24日 【測定事例】 5種のシリコンウェハの熱伝導率の違い 今回は半導体にはかかせないSiウェーハの測定事例の紹介です。 今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したSiウェーハ(5種)の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。 測定したのは下記の5種類。それぞれp型/n型、ドープ量などが違うも