今回は、 SiCの微細熱伝導率分布評価例をご紹介します。 以前の記事でご紹介しましたように、 SiCは次世代半導体材料として期待されている材料ですが、 ワイドバンドギャップ材料であることとともに、 熱伝導率もSiに比べて高いことが知られていますが、 微細部分の熱伝導率
セラミックス
【測定事例】 アルミナ(Al2O3)絶縁膜の熱伝導率
アルミナ(Al2O3)は工業的によく利用される材料です。 アルマイト処理などは非常に一般的です。 緻密なアルミナセラミックスは、 単結晶のアルミ酸化物であるサファイアと同様に、 ある程度の熱伝導性を持っています。 しかしながら、薄膜にして使用すると、 作成方法によっ
【測定事例】 シリコンカーバイド(SiC)の熱伝導率
SiC（シリコンカーバイト：炭化ケイ素）というキーワードを最近よく耳にする機会が多くなってきました。 つい2年くらい前から弊社にはSiCの測定依頼がありましたが、まだその際には研究開発段階で量産化に向けた研究の真っ最中の時期でした。 それが、つい2年前の話し。 い
