2010年11月28日

<微小領域> シリコンカーバイド(SiC)の熱伝導率の分布評価

今回は、 SiCの微細熱伝導率分布評価例をご紹介します。以前の記事でご紹介しましたように、 SiCは次世代半導体材料として期待されている材料ですが、ワイドバンドギャップ材料であることとともに、熱伝導率もSiに比べて高いことが知られていますが、微細部分の熱伝導率

2010年11月27日

【測定事例】アルミナ(Al2O3)絶縁膜の熱伝導率

アルミナ(Al2O3)は工業的によく利用される材料です。アルマイト処理などは非常に一般的です。緻密なアルミナセラミックスは、単結晶のアルミ酸化物であるサファイアと同様に、ある程度の熱伝導性を持っています。しかしながら、薄膜にして使用すると、作成方法によっ

2010年11月24日

今回は半導体にはかかせないＳｉウェーハの測定事例の紹介です。今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したＳｉウェーハ（5種）の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。測定したのは下記の5種類。それぞれp型／n型、ドープ量などが違うも

2010年11月19日

SiC（シリコンカーバイト：炭化ケイ素）というキーワードを最近よく耳にする機会が多くなってきました。つい2年くらい前から弊社にはSiCの測定依頼がありましたが、まだその際には研究開発段階で量産化に向けた研究の真っ最中の時期でした。それが、つい2年前の話し。い

2010年11月17日

ダイヤモンド。欲しいですね。大きいカラット数のもの。ですが当社に測定依頼があるものは宝飾用でなく工業用のもの。単結晶、多結晶の研究開発段階のダイヤモンドが持ち込まれます。最近はSiC（シリコンカーバイト）が半導体の素子として量産化に目処がつき、よく見聞

2010年11月15日

近年、ＬＥＤを筆頭に、製品の放熱性が性能に大きく影響を与える事例が増えてきました。それに伴い、放熱性材料の開発競争も激化しています。その中でもグラファイトシートは、シートの面内方向に非常に高い熱伝導率を持つ材料で、銀の5倍の熱伝導率を持つものもあり