超硬工具はタングステンカーバイド(WC)にコバルトを含有した、
超硬合金で作成されますが、
さらに性能を高めるために、
TiN, TiC, AlN, DLC等のコーティングを施すそうです。

従来これらのコーティング層の熱物性値を測定することは、
非常に難しかったのですが、
株式会社ベテルのサーマルマイクロスコープTM3では、
可能となっています。

事例としまして、
コーティング断面の熱伝導率ライン分析をご紹介いたします。

超硬工具



特徴をまとめますと、
①空間分解能3μmで熱伝導率が測定できます。
②基板上のコーティング断面の熱伝導率が測定できます。
③コーティング表面方向からの測定も可能です。

結果から下記のことがわかります。
①コーティング部の熱伝導率変化が測定できました。
②熱伝導率の遷移部が存在していることがわかりました。


当社のサーマルマイクロスコープTM3は、
薄膜の熱伝導率(100nm~)、
微小領域の熱浸透率(3μm~)の測定ができる装置です。

測定依頼は、
株式会社ベテル、下記メールアドレスまでご連絡ください。
k-hatori@bethel.co.jp