窒化アルミAlNは、
絶縁性が高く、熱伝導率が高いため、
ヒートシンクとしての利用が広がっています。

また、プリント基板の基材としても、
同様の理由で利用が広がっています。

パワーデバイスやLEDなど単位面積当たりの、
発熱量が大きい材料については、
ますます窒化アルミのような放熱材料は重要となってきます。

窒化アルミAlN（セラミックス）は、
焼結法で作成されますが、
作成法により熱伝導率が大きく変化します。

近年では、
作成法の高度化により、
高い熱伝導率をもつAlNが開発されています。

高い熱伝導率を持たせるためには、
焼結状態の制御が重要ですが、
そのためには、
微細な熱伝導率の分布を評価する必要があります。

しかしながら、
従来の方法では微細な領域の熱伝導率分布の測定は
困難でした。

サーマルマイクロスコープＴＭ３では、
最小3μmの分解能で熱伝導率の測定が可能です。
（熱浸透率からの換算値）

以下に測定値を示します。

窒化アルミ(AlN)セラミックス 282W/mK（平均値）
また、
測定箇所によっても大きく熱伝導率が変化することがわかり、
219～318W/mKの範囲となりました。

詳しくは、
Journal of the Ceramic Society of Japan 116[12] 1260-1264 2008
を参照ください。

当社のサーマルマイクロスコープＴＭ３は、
薄膜の熱伝導率（100nm～）、
微小領域の熱浸透率（3μm～）の測定ができる装置です。

測定依頼は、
株式会社ベテル、下記メールアドレスまでご連絡ください。
k-hatori@bethel.co.jp