今回は半導体にはかかせないＳｉウェーハの測定事例の紹介です。
今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したＳｉウェーハ（5種）の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。
測定したのは下記の5種類。それぞれp型／n型、ドープ量などが違うものです。
①ケイ素<0.02Ωcm／P,Low,100
②ケイ素>1000Ωcm／P,High,111
③ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,100
④ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,111
⑤ケイ素>1000Ωcm／N,High,111
当社のサーモウエーブアナライザーＴＡで測定しますと、
熱伝導率（熱拡散率）
①約120W/mK（74mm2/s）
②約140W/mK（87mm2/s）
③約120W/mK（76mm2/s）
④約120W/mK（75mm2/s）
⑤約140W/mK（87mm2/s）
＊熱伝導率は熱拡散率の測定値と比熱と密度の文献値から計算。
という結果です。
熱伝導率的には、p型／n型でそう大きな差はないようです。High、lowでは差が出るようですが。
以上、参考になりましたでしょうか？
当社のサーモウエーブアナライザーＴＡは、
熱伝導率の異方性がある材料でも、同一ワークで測定できる装置です。
測定依頼は、
株式会社ベテル、下記メールアドレスまでご連絡ください。
k-hatori@bethel.co.jp
今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したＳｉウェーハ（5種）の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。
測定したのは下記の5種類。それぞれp型／n型、ドープ量などが違うものです。
①ケイ素<0.02Ωcm／P,Low,100
②ケイ素>1000Ωcm／P,High,111
③ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,100
④ケイ素<0.02Ωcm／N,Low,111
⑤ケイ素>1000Ωcm／N,High,111
当社のサーモウエーブアナライザーＴＡで測定しますと、
熱伝導率（熱拡散率）
①約120W/mK（74mm2/s）
②約140W/mK（87mm2/s）
③約120W/mK（76mm2/s）
④約120W/mK（75mm2/s）
⑤約140W/mK（87mm2/s）
＊熱伝導率は熱拡散率の測定値と比熱と密度の文献値から計算。
という結果です。
熱伝導率的には、p型／n型でそう大きな差はないようです。High、lowでは差が出るようですが。
以上、参考になりましたでしょうか？
当社のサーモウエーブアナライザーＴＡは、
熱伝導率の異方性がある材料でも、同一ワークで測定できる装置です。
測定依頼は、
株式会社ベテル、下記メールアドレスまでご連絡ください。
k-hatori@bethel.co.jp
