熱物性ブログ ~熱伝導率測定のベテル ハドソン研究所~

熱を使ったクラック・ボイドの非破壊検査。 薄膜・微小領域の最新熱伝導率測定方法。 熱と光でさまざまなニーズにお応えします。

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半導体

しばらく当社のホームページに掲載されております、 測定例をご紹介していきます。 サーマルマイクロスコープによる、 半導体レーザの電極部評価例を紹介します。 Au電極部の下にAl2O3の絶縁膜が存在する部分と そうではない部分がありますが、 サーマルマイクロスコープ
『【測定事例】 半導体レーザ 電極部の熱浸透率』の画像

GaNは青色LED材料としてだけではなく、 SiCと同様、次世代のワイドバンドギャップ半導体材料として 注目されています。 GaNはSiやSiCのように単体のウエハーで作成されるわけではなく、 Siやサファイア上にエピタキシャル成長で薄膜上に作成されます。 したがって、熱伝導

今回は半導体にはかかせないSiウェーハの測定事例の紹介です。 今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したSiウェーハ(5種)の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。 測定したのは下記の5種類。それぞれp型/n型、ドープ量などが違うも
『【測定事例】 5種のシリコンウェハの熱伝導率の違い』の画像

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