生まれも育ちも茨城なのに、
特産物の納豆、メロン、アンコウが、そんなに好きではないアワノッチです。
今、「サーマルマイクロスコープTM3」の装置本体の問い合わせや依頼測定が
例年以上に多く、異常に忙しい状態で、この記事を書いています。
これもアベノミクス効果でしょうか？
サーマルマイクロスコープTM3の問い合わせに対応しているときに
ふと気がついたのですが、
カタログには、装置の説明がびっしり書いてありますが、
お客様は、どのように試料を作成すればよいか全くわかりません。
（気づくのが遅いのですが…）
なので、試料の作成に関しては、毎回、口頭または絵に書いて、
お客様に説明をしているわけです。
そこで今回は、
『サーマルマイクロスコープTM3で熱浸透率を測定する時の、測定試料の作り方』
について、説明していきたいと思います。
まず、サーマルマイクロスコープTM3は、
◇ 薄膜の熱伝導率
◇ 微小サイズ試料の熱浸透率
などを測定する装置です。
http://www.bethel-thermal.jp/specification/02/index.html
測定できる試料は、以下のようなものがあります。
主に小さい領域の測定を得意としています。
お客様によっては、基板上の薄い膜を全て
『薄膜』 と呼んでいる方もいらっしゃいますが、
TMでは『バルク』と『薄膜』を、以下のように分類しています。
このように基板上にあっても、膜厚が厚ければ『バルク』として測定することができます。
バルクとして測定する方が、薄膜として測定するよりも
価格は安いですし、精度も良いです。
バルク試料の作り方は以下のようになります。
TMでは、レーザーの反射を見て熱物性測定を行いますので、
試料の測定面を鏡面のように研磨する必要があります。
これは、バルクだけでなく、フィラーや薄膜の試料作成時にも必要な作業です。
フィラーの試料の作り方は以下のようになります。
フィラーのままだと扱いが難しいため、樹脂に埋め込みます。
薄膜の試料の作り方は以下のようになります。
適切な基板を選択する必要があります。
また、成膜した基板だけでなく、成膜していない基板も必要になります。
このブログ記事を、資料にまとめましたので、
欲しい方は電話でお問い合わせください。
――――――――――――
TEL： 0299-36-0690
――――――――――――
アワノッチが、メールでお送りします。
ただ、この資料はまだまだ未完成です。
もっと、必要な情報を追加し、見やすく整理して、
お客様に配布できれば、と思っています。
（著：アワノッチ）
特産物の納豆、メロン、アンコウが、そんなに好きではないアワノッチです。
今、「サーマルマイクロスコープTM3」の装置本体の問い合わせや依頼測定が
例年以上に多く、異常に忙しい状態で、この記事を書いています。
これもアベノミクス効果でしょうか？
サーマルマイクロスコープTM3の問い合わせに対応しているときに
ふと気がついたのですが、
カタログには、装置の説明がびっしり書いてありますが、
お客様は、どのように試料を作成すればよいか全くわかりません。
（気づくのが遅いのですが…）
なので、試料の作成に関しては、毎回、口頭または絵に書いて、
お客様に説明をしているわけです。
そこで今回は、
『サーマルマイクロスコープTM3で熱浸透率を測定する時の、測定試料の作り方』
について、説明していきたいと思います。
まず、サーマルマイクロスコープTM3は、
◇ 薄膜の熱伝導率
◇ 微小サイズ試料の熱浸透率
などを測定する装置です。
http://www.bethel-thermal.jp/specification/02/index.html
測定できる試料は、以下のようなものがあります。
主に小さい領域の測定を得意としています。
|
お客様によっては、基板上の薄い膜を全て
『薄膜』 と呼んでいる方もいらっしゃいますが、
TMでは『バルク』と『薄膜』を、以下のように分類しています。
|
＜バルク？ 薄膜？＞ 薄膜と呼ばれる膜の厚さは分野によって異なります。 TMの場合、薄膜やシートの膜厚によってはバルクと考えることができます。 交流温度波が膜の裏面まで到達する場合、基板や試料台の影響を受けるので “薄膜”として測定します。到達しない場合は “バルク”として測定します。  判断するために、交流温度波が試料内を伝わっていく時に 波形を保ったまま進む距離である熱拡散長を使います。 交流温度波を用いた測定の時、熱拡散長μ[m]は次の式で定義されます。  熱伝導率予想値から熱拡散長を計算し、 念のため膜の厚さが熱拡散長5倍未満のとき薄膜、 そうでない場合はバルクと判断して測定します。 |
このように基板上にあっても、膜厚が厚ければ『バルク』として測定することができます。
バルクとして測定する方が、薄膜として測定するよりも
価格は安いですし、精度も良いです。
バルク試料の作り方は以下のようになります。
TMでは、レーザーの反射を見て熱物性測定を行いますので、
試料の測定面を鏡面のように研磨する必要があります。
これは、バルクだけでなく、フィラーや薄膜の試料作成時にも必要な作業です。
|
＜バルク試料作成＞ ① 測定用試料を切り出します。推奨サイズは１cm角、厚さ1mmです。 ※あくまで推奨サイズであり、形状には自由度がありますのでお気軽にご相談ください。  ② 測定面(推奨サイズの１cm×１cmの面)を、 算術平均粗さRaが0.01以下になるように研磨します。 ※お客様の方で研磨できない場合は要相談。  |
フィラーの試料の作り方は以下のようになります。
フィラーのままだと扱いが難しいため、樹脂に埋め込みます。
|
＜フィラー試料作成＞ ① エポキシ樹脂にフィラーを包埋します。推奨サイズは１cm角、厚さ1mmです。 ※あくまで推奨サイズであり、形状には自由度がありますのでお気軽にご相談ください。  ② エポキシ樹脂にフィラーを包埋します。推奨サイズは１cm角、厚さ1mmです。 ※あくまで推奨サイズであり、形状には自由度がありますのでお気軽にご相談ください。 ※お客様の方で研磨できない場合は要相談。  |
薄膜の試料の作り方は以下のようになります。
適切な基板を選択する必要があります。
また、成膜した基板だけでなく、成膜していない基板も必要になります。
|
＜薄膜試料作成＞ ① 基板を2枚用意します。推奨サイズは１cm角、厚さ1mmです。 ※あくまで推奨サイズであり、形状には自由度がありますのでお気軽にご相談ください。 熱伝導率の高い薄膜を成膜する場合は、熱伝導率の低い基板を 逆に熱伝導率の低い薄膜を成膜する場合は、熱伝導率の高い基板を 使用してください。  ② 基板の測定面(推奨サイズの１cm×１cmの面)を 算術平均粗さRaが0.01以下になるように2枚とも研磨します。 ※お客様の方で研磨できない場合は要相談。  ③ 1枚の基板に測定対象の薄膜を成膜します。もう1枚の基板は成膜しません。  |
このブログ記事を、資料にまとめましたので、
欲しい方は電話でお問い合わせください。
――――――――――――
TEL： 0299-36-0690
――――――――――――
アワノッチが、メールでお送りします。
ただ、この資料はまだまだ未完成です。
もっと、必要な情報を追加し、見やすく整理して、
お客様に配布できれば、と思っています。
（著：アワノッチ）
