熱物性ブログ ~熱伝導率測定のベテル ハドソン研究所~

熱を使ったクラック・ボイドの非破壊検査。 薄膜・微小領域の最新熱伝導率測定方法。 熱と光でさまざまなニーズにお応えします。

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更新情報

今回は、 SiCの微細熱伝導率分布評価例をご紹介します。 以前の記事でご紹介しましたように、 SiCは次世代半導体材料として期待されている材料ですが、 ワイドバンドギャップ材料であることとともに、 熱伝導率もSiに比べて高いことが知られていますが、 微細部分の熱伝導率

アルミナ(Al2O3)は工業的によく利用される材料です。 アルマイト処理などは非常に一般的です。 緻密なアルミナセラミックスは、 単結晶のアルミ酸化物であるサファイアと同様に、 ある程度の熱伝導性を持っています。 しかしながら、薄膜にして使用すると、 作成方法によっ

今回は半導体にはかかせないSiウェーハの測定事例の紹介です。 今回の測定事例はお客様からの依頼ではなく、弊社で入手したSiウェーハ(5種)の測定紹介ですので、あくまで参考程度とお考えください。 測定したのは下記の5種類。それぞれp型/n型、ドープ量などが違うも
『【測定事例】 5種のシリコンウェハの熱伝導率の違い』の画像

SiC(シリコンカーバイト:炭化ケイ素)というキーワードを最近よく耳にする機会が多くなってきました。 つい2年くらい前から弊社にはSiCの測定依頼がありましたが、まだその際には研究開発段階で量産化に向けた研究の真っ最中の時期でした。 それが、つい2年前の話し。 い
『【測定事例】 シリコンカーバイド(SiC)の熱伝導率』の画像

熱を逃がすアプローチその1では、 材料自体の熱伝導性の話題でしたが、 最近注目されるポイントとしては、 界面の問題があります。 界面の熱抵抗の問題です。(注釈1) 通常いくつかの材料の組み合わせで、 熱伝導性を向上させようとしますが、 その場合、 材料と材料の
『熱を逃がすアプローチ その2』の画像

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